尺寸	500 x 750 x 650 mm
重量	80Kg
類型	自動
測量型號	≤ 4"
測量方法	無連接的
測量原理	反射計(jì)
特征	測量迅速，操作簡單  非接觸式，非破壞方式  優(yōu)秀的重復(fù)性和再現(xiàn)性  2D/3D映射和造型  自動機(jī)械活動控制  電荷耦合器件照相機(jī)  自動調(diào)焦

活動范圍	300mm x 300mm
測量范圍	100?~ 35?(Depends on Film Type)
光斑尺寸	40?/20?,4?(option)
測量速度	1~2 sec./site (fitting time)
應(yīng)用領(lǐng)域	All Capability of ST2000 & More Precision Measurement  Intended for Large Size Wafer Measure
選擇	Reference sample(K-MAC or KRISS or NIST)  Anti-vibration table
接物鏡轉(zhuǎn)換器	Quintuple Revolving Nosepiecs
焦點(diǎn)	Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
附帶照明	12v 100W Halogen Lamp

 

產(chǎn)品規(guī)格

貨號	型號	名稱	規(guī)格	價格	備注	購買
	ST5030-SL	薄膜測厚儀	測量范圍: 100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)	登陸查看	來電詢價