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薄膜測厚儀ST5000

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薄膜測厚儀ST5000

 

 尺寸  1100 x 1250 x 1550 mm
 重量  400kg
 類型  自動的
 測量方法  無連接的
 測量原理  反射計
 特征

 測量迅速,操作簡單
 非接觸式,非破壞方式
 優(yōu)秀的重復性和再現(xiàn)性
 2D/3D 映射和造型
 自動機械活動控制
 CCD相機
  防震臺 
 自動調(diào)焦

 活動范圍  300mm x 300mm
 測量范圍  100Å~ 35㎛(Depends on Film Type)
 光斑尺寸  40㎛/20㎛,4㎛(option)
 測量速度  1~2 sec./site(fitting time)
 應用領域 半導體 Poly-Si, GaAs, GaN, InP, ZnS+Si, Ge,SiGe...
電解質 SiO2, TiO2, TaO5, ITO, ZrO2, Si3N4, Phptoresist, ARC,...
平板行業(yè)(包括LCD,PDP, OLED,): a-Si,n+-a-Si, Gate-SiNx MgO,Alq,ITo,PR,CuPc,  11111111111NPB, PVK,PAF,PEDT-PSS,Oxide,Polyimide...
光學涂層反射膜,Color Filters...
太陽能電池 Dopinga-Si(i-type,n-type,p-type),TCO(ZnO,SnO.ITO...)
聚合物 PVA,PET,PP,Dye,Npp,MNA,TAC,PR...
 可選項目  Transmittance Module
 Reference Sample(K-MAC or KRISS or NIST)
 接物鏡旋轉器  Quintuple Revolving Nosepiecs
 焦點  Coaxial Coarse and Fine Focus Controls
 附帶照明  12v 100W Halogen Lamp

 

產(chǎn)品規(guī)格

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